涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵*限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

 操作涡轮分子泵注意事项
1.选择系统前级泵的的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流的状态下
2.不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行
3.分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵的转子和定子叶片